白光轮廓仪( )

白光轮廓仪

型 号：CONTOURGT-X3

技术指标：

1、测量原理：非接触、三维、白光扫描干涉仪

2、精度：RMS＜0.1 Å (垂直方向)，框架式结构

3、Z方向测试范围 0 .1nm 到10mm.

4、Z方向分辨率 Ra 0.1nm， RMS重复性 ≤0.01nm

主要功能、用 途：

利用光的干涉原理即光程差相等时即产生干涉条纹，通过马达驱动从而改变镜头与待测样品之间的距离带动干涉条纹的移动，达到对样品扫描的目的。最终得到样品的三维形貌，表面粗糙度等特征。

能够测量元件的重要光学参数，一般用于测量光学元件p-v值，粗糙度等，测量精度高，在光学加工，实验，科研中应用广泛。