薄膜和厚膜检测系统
型 号：NanoMap500LS
技术指标：
测量范围：最大至500μm;垂直分辨率：最小为0.1nm;三维扫描范围：500μm×500μm.
主要功能、用 途：
主要应用在各种材料表面的薄膜厚度、台阶高度和粗糙度等方面的定量测量。
三维表面轮廓测量和粗糙度测量，既适用于精密抛光的光学表面也适用于质地粗糙的机加工零件。
